Temario
Objetivo
El objetivo de este estudio es sintetizar materiales dieléctricos nanolaminados de alta constante dieléctrica (alta-k). El ordenamiento en forma de nanolaminado ha demostrado proveer control sobre las propiedades ópticas y eléctricas del composito resultante. La técnica de crecimiento es &ldquo,atomic layer deposition, ALD&rdquo,. Las técnicas de caracterización son aquellas sensibles a la superficie, tales como, XPS, Auger, mientras que las propiedades ópticas se estudian mediante elipsometría espectroscópica y REELS. Las propiedades eléctricas se estudian a través de curvas voltaje-capacitancia en capacitores construidos a base de películas delgadas. El estudio de nuevos materiales de alta-k es importante porque es necesario reemplazar los materiales dieléctricos que actualmente se emplean en las compuertas de los transistores FET de los circuitos integrados en los dispositivos electrónicos actuales.
